高(gao)(gao)腐蝕性產品(pin)接(jie)觸部(bu)(bu)分需要特(te)殊的鉻(ge)-鎳(nie)基(ji)合金(jin)或(huo)者(zhe)特(te)種(zhong)材質(zhi)如(ru)鈦(tai)或(huo)者(zhe)鉭。另一方面,一些產品(pin)金(jin)屬(shu)(shu)活性強不允許接(jie)觸金(jin)屬(shu)(shu)。在(zai)高(gao)(gao)真空和短(duan)停留時間的條件(jian)下處理熱敏性產品(pin),VTA提供(gong)薄(bo)膜(mo)和短(duan)程蒸(zheng)發(fa)(fa)技術,產品(pin)接(jie)觸部(bu)(bu)分材質(zhi)為搪(tang)瓷(玻璃內襯)和PTFE。通常與其他(ta)特(te)種(zhong)材質(zhi)相比更經(jing)濟。氫氟酸例(li)外,在(zai)高(gao)(gao)溫蒸(zheng)發(fa)(fa)過(guo)程中產生氟化氫化合物和高(gao)(gao)濃(nong)度酸。
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